CCCL01微纳尺寸测量仪

将显微成像与传统影像测量相结合，实现了微小特征的大范围测量。配置电动变倍镜头，可自动切换到不同的倍率，探测各种精密微观二维尺寸特征。测量仪功能丰富，拥有自动调色增强图像效果功能，满足大范围测量拼图功能，实现自动抓取拟合测量功能，可进行各种二维尺寸点、线、圆等的测量和形位公差的评价，可进行各种段差、角度、平面度测量。

CCCL01微纳尺寸测量仪可用于印制电路板微切片、精密机械零件、晶圆刻蚀微结构、光通讯器件、精密模具、磁性材料、精密冲压、手机精密配件、医疗器械、钟表、刀具、计量检测等领域。

技术规格

表2

注：

*1在调焦位置，使用环境温度为+20±1.0℃时，测量标准线对分辨率板。

*2在调焦位置，使用环境温度为+20±1.0℃时，测量微纳米标准板。

*3在调焦位置，使用环境温度为+20℃±1.0℃时，测量微纳米标准板。

*4为Z轴机械精度，采用镜头聚焦测高的精度依赖于工件表面。

*5需选配光学高度测量传感测头。